扫描型膜厚测试仪FR-Scanner

扫描型膜厚测试仪

是简洁易操作的台式膜厚仪,适用于在大尺寸基板上的薄膜和涂层上,利用光学反射方法来测量和自动分析薄膜涂层的表征。

扫描型膜厚测试仪

膜厚仪是可通过测定放置在真空托盘上的任何大小的半导体晶圆片,快速计算出其厚度、折射率、均匀性、颜色等参数。

 

膜厚仪的光学扫描系统,采用一套独特又可配套的光谱仪,集成白炽和LED混合的光源,以及其他光学部件。在本系统设计中没有任何弯曲或移动探针。因此,在精确度、重复性和长期性方面,光纤具有优异的性能。确保系统结果输出的稳定性。此外光源的特殊设计提供极长寿命,可达10000小时以上。

 

 

系统参数

FR-Scanner-E

VIS/NIR

FR-Scanner-F

VIS/NIR

FR-Scanner-F  VIS

样片尺寸

晶圆片: 2in-3in-4in-6in-8in.  不规则样片等

R向分辨精度

10μm

5μm

5μm

角度分辨精度

0.2°

0.1°

0.1°

光斑大小

500μm (直径):  反射的区域

zui小膜厚

100nm

光谱范围

350nm  – 1100nm

350nm  – 1100nm

550nm  – 900nm

光谱仪参数

3648   pixels

光源平均使用寿命

10000小时

膜厚范围

20nm-90μm

20nm-90μm

100nm-190μm

测量分辨率

<0.1nm

0.06nm

0.06nm

测量稳定范围

<0.1nm

0.06nm

0.06nm

测量精度

1nm  

1nm

1nm

扫描速率

200meas/min  

5points:  6sec

25points:  15sec

625meas/min  

5points:  4sec

25points:  9 sec

625meas/min  

5points:  4sec

25points:  9 sec

通讯接口

USB  2.0 / USB 3.0.  Any  PC  running  Windows  7/8/10  64bit.

尺寸

485W   x  457L  x  500H   mm

功率要求

110V/230V,  50-60Hz, 300Watts

重量

23kg

40kg

40kg

 

*附件选项

电脑:PC with 19inch screen

对焦模块:光学模块附带250um直径光斑大小的反射探针

泵浦:样品放置用的高级无油真空泵浦

发表回复